Vervanging van PFAS-Polymeermaterialen in de semiconductor-industrie

article

Jong, A.M.C.P. de

Trimboli, J.
PFAS-houdende materialen en/of processen zullen door strengere regelgeving vanwege hun gezondheidsrisico’s in de toekomst mogelijk niet meer beschikbaar zijn. Vervanging zal echter vanwege zeer specifieke eigenschappen van PFAS-materialen niet eenvoudig zijn, onder meer in de semiconductor-industrie. TNO voert in een Europees 10-Ace demonstratieproject onderzoek uit naar alternatieve PFAS-(polymeer)materialen die in deze branche kunnen worden toegepast.
Topics









PFAS polymeermaterialenSemiconductor industriePFAS polymer materialsSemiconductor industryVervanging PFASReplacement PFASAlternatieven PFASAlternatives PFASO-ringenO-rings
TNO Identifier
1013617
Repository link
https://resolver.tno.nl/uuid:4eeeffb4-5ee1-46f5-b9bd-fd76a1e133d7
Source
NEVAC blad, 63(1), pp. 12-16.
Publisher
NEVAC
Pages
12-16
Files
To receive the publication files, please send an e-mail request to TNO Repository.