De zoektocht naar kleine deeltjes op grote oppervlakken
article
In de halfgeleiderindustrie worden op zeer gróte schaal zeer kleíne structuren geproduceerd. Omdat één enkel vervuilend deeltje, al is dat slechts enkele tientallen nanometers groot, tot defecte chips kan leiden, vindt de productie hiervan plaats onder extreem schone omstandigheden. Om de "schoonheid" van halffabrikaten en productieprocessen te kunnen kwalificeren, wordt gebruik gemaakt van deeltjescscanners. Dit zijn apparaten die met hoge snelheid de aanwezigheid van kleine deeltjes op vlakke substraten kunnen detecteren. Omdat met het steeds kleiner worden van halfgeleiderstructuren, er ook steeds kleinere deeltjes moeten worden gedetecteerd, wordt er continu gewerkt aan het verder verbeteren van de deeltjesscanners en het ontwikkelen van nieuwe meetprincipes. In dit artikel wordt een recent ontwikkelede meetmethode beschreven.
TNO Identifier
878160
ISSN
0028-2189
Source
Nederlands tijdschrift voor natuurkunde, 85(9 ), pp. 26-30.
Publisher
Nederlandse Natuurkundige Vereniging
Collation
5 p.
Place of publication
Amsterdam
Pages
26-30
Files
To receive the publication files, please send an e-mail request to TNO Repository.