De Flexicoat-300: een roll-to-roll PECVD systeem voor fabricage van dunne film silicium zonnecellen op folie

article






Soppe, W.J.

Pex, P.P.A.C.

Devilee, C.

Loffler, J.

Heijna, M.

Aken, B.B. van

Dorenkamper, M.S.
n.a.
TNO Identifier
820889
Repository link
https://resolver.tno.nl/uuid:9030e8fa-fca1-4446-b6be-7c25f0387556
Source
NEVAC blad(1), pp. 30-39.
Publisher
ECN
Collation
7 p.
Place of publication
Petten
Pages
30-39
Files