iTIRM: ruwheidsmetingen aan oppervlakken tijdens bewerking
article
Het fabriceren van optische elementen zoals lenzen en spiegels gebeurt door glasoppervlakken te bewerken met slijp- en polijstprocessen. Eerst wordt door middel van slijpen de vorm van het oppervlak gemaakt; hierbij ontstaan ook kleine scheurtjes onder het oppervlak, de zogenaamde ‘sub surface damage’ (SSD). Na het slijpen wordt het oppervlak gepolijst om het glad te maken en de SSD te verwijderen. Om de fabricage van optische elementen te verbeteren is het detecteren en meten van de ruwheid en SSD tijdens het slijpen en polijsten gewenst. Voor het meten van ruwheid bestaan er al methoden, bijvoorbeeld verstrooiingsmetingen. De meest gebruikelijke methode om SSD te meten is dimpling. Bij dimpling wordt met een stalen kogeltje een kuiltje (dimple) in het oppervlak gepolijst en onder een microscoop wordt de breedte van de SSD-laag gemeten en uit deze breedte kan de dikte van de SSD-laag berekend worden. Een groot nadeel van dimpling is dat het een destructieve methode is. De methode die wij presenteren, afgeleid van TIRM (Totale Interne Reflectie Microscopie), is een niet-destructieve en kwantitatieve meetmethode genaamd iTIRM (intensiteit detecterende TIRM), die naast ruwheid en SSD ook krassen en kuilen in het oppervlak kan detecteren. De iTIRM meetmethode meet de totale oppervlakte kwaliteit in één signaal. In het volgende presenteren wij het principe van iTIRM in vergelijking met TIRM en geven enkele meetresultaten. Ook laten we zien dat iTIRM gebruikt kan worden als in-situ meetsysteem tijdens polijsten en slijpen en tonen daar ook meetresultaten van die aangeven dat iTIRM in staat is om de verandering van de oppervlaktekwaliteit te meten tijdens het slijp- en polijstproces.
Topics
TNO Identifier
525197
Source
Tijdschrift voor Fotonica, 26(3), pp. 7-12.
Collation
6 p.
Pages
7-12
Files
To receive the publication files, please send an e-mail request to TNO Repository.